Может ли пластинка контактировать с сжатым воздухом? Почему

В процессе производства пластинкиНе следует допускать прямого контакта с обычным сжатым воздухомНеобходимо использовать чистый сжатый воздух, подвергшийся строгой обработке.Ниже приведены конкретные причины и нормы:

Почему нельзя доступа к обычному сжатому воздуху?

1. Риск загрязнения：

• Загрязнение нефтью: Обычный сжатый воздух может содержать следовые масла, даже небольшие количества могут прикрепиться к поверхности пластин, влияя на адгезию фоторезиста и точность схемы.
• Вода конденсается: Несушенный сжатый воздух может конденсироваться в воду в низкотемпературных трубопроводах, что приводит к влажности пластин или коррозии оборудования.
• Поцарапание частиц: твердые частицы, такие как пыль и металлололома, могут поцарапать поверхность пластинки и привести к необратимым дефектам.

2. Влияние технологических процессов：

• Снижение точности фотографииПримесей могут загрязнять фотографскую маску, что может привести к отклонениям в воспроизведении образца чипа.
• Ухудшение однородности эрозии: загрязненные газы изменяют условия эрозионной химической реакции, влияют на контроль кромки линии.
• Колебания концентрации допингаПримесей мешают процессу допирования, что приводит к непоследовательным характеристикам транзисторов.

3. Повреждения оборудования：

• Коррозия точных деталейСжатый воздух, содержащий агрессивные газы, может ускорить старение оборудования.
• Пробка трубопровода: твердые частицы могут блокировать газовые сосолы или вакуумные насосы, повышая риск остановки работы.

II. Нормы использования чистых сжатых воздухов

1. Требования к классам качества：

• Без маслаОстатки масла ≤ 0,01 мг / м3 (некоторые технологические требования ≤ 0,1 ppm).
• Сухость: точка росы давления ≤-40°C (некоторые процессы должны быть ≤-70°C).
• Фильтрация частицЭффективность фильтрации ≥0,01 мкм частиц ≥99,995%.
• Стабильность давленияДиапазон колебаний контролируется в пределах ±0,01 МПа.

2. Конструкция системы газоснабжения：

• Отдельная газоснабжающая камера: Установка генерации сжатого воздуха должна быть независимой от чистой комнаты, чтобы избежать воздействия теплового излучения и вибрации.
• Многоступенчатая фильтрация: последовательно устанавливают сепаратор масла-воды, адсорбтор активированного угля и сверхточный фильтр.
• Материалы трубопроводов: Используйте трубы из нержавеющей стали 316L или электролитически полированные трубы с внутренней стенкой для уменьшения выброса твердых частиц.

3. Использование ограничений сценария：

• Прямой контакт запрещен.: В процессе транспортировки, очистки и т. д. сжатый воздух используется только для приведения оборудования (например, цилиндра), не вступая в прямой контакт с пластинкой.
• Защита от положительного давления: поддерживать положительное давление в чистой комнате, предотвращать проникновение внешнего воздуха.

III. Альтернативные варианты и меры реагирования

1. Замещение азотаИспользование высокочистого азота на важнейших этапах процесса, таких как транспортировка пластин, является более дорогостоящим, но более безопасным.
2. Метод испытания на фторированное масло: В процессе испытаний на высокое давление, используется замену изоляции сжатого воздуха фторированным маслом, после испытания фторированное масло легко испаряется без остатков.
3. Статическая защита.: Если необходимо промыть оборудование сжатым воздухом, то необходимо устранить статический ток с помощью устройства ионизации.

Выводы: Производство пластин очень требовательно к качеству сжатого воздуха, примесей в обычном сжатом воздухе могут непосредственно привести к утилизации пластин или отказу оборудования.Бесмасляные воздушные компрессоры, многоступенчатая система фильтрации и строгий контроль точки росы обеспечивают соответствие сжатого воздуха требованиям полупроводникового процесса стандартам класса 1 (ISO 8573 – 1).