Пневматическое управление и приводы для автоматизированного оборудования
На производственной линии интегральных схем ключевым элементом являются высокоавтоматизированные установки. Сжатый воздух как…Чистый сухой воздухОн широко используется в качестве источника энергии для пневматических компонентов. Он приводит в действие различные пневматические клапаны, цилиндры и манипуляторы, обеспечивая точную транспортировку и позиционирование пластин на всех этапах производства. Благодаря высокой скорости реакции и плавности хода сжатый воздух эффективно гарантирует стабильность производственного такта и высокую эксплуатационную надёжность оборудования.
Поддержание чистоты в чистых помещениях и контроль загрязнений
Производство интегральных схем требует проведения в чистых помещениях крайне высокого класса. Система сжатого воздуха, обеспечивая непрерывную подачу в чистое помещение тщательно фильтрованного воздуха, помогает поддерживать внутри помещения…Состояние слабого положительного давленияТакое положительное давление эффективно препятствует проникновению во внутренние зоны производства нефильтрованного наружного воздуха и частиц. Кроме того, при проведении технического обслуживания оборудования или локальных модернизаций сжатый воздух используется для временной изоляции и управления потоками воздуха, что позволяет предотвратить перекрёстное загрязнение.
Продувка и сушка поверхности пластинки-подложки
После таких процессов, как мокрая очистка и химико‑механическое полирование пластин, на их поверхности могут оставаться жидкие остатки или микрочастицы. Для этого используется высоконапорный и сверхчистый сжатый воздух.Поверхностная продувкадля удаления адсорбированных микрочастиц. В то же время в рамках определённой технологии сушки сжатый воздух, совместно с другими рабочими средами, способен ускорить испарение и отслаивание влаги с поверхности подложки, предотвращая образование водных пятен, которые могут негативно повлиять на последующие процессы литографии или травления.
Газ для измерительных приборов и вспомогательные технологические газы
В полупроводниковом производстве размещено множество высокоточных измерительных приборов и аналитических устройств. Сжатый воздух обеспечивает стабильное питание этих приборов и оборудования.Силовой источник воздухаИ защитный газ, обеспечивая точность измерительных данных. В некоторых некритичных вспомогательных технологических операциях, таких как охлаждение внутри оборудования, приведение в действие пневматических инструментов, а также продувка и опрессовка трубопроводных систем, сжатый воздух также играет незаменимую роль.
Стандарт качества сжатого воздуха
Поскольку интегральные схемы чрезвычайно чувствительны к микрочастицам и влаге, сжатый воздух, используемый на производственной линии, должен соответствовать строгим требованиям к качеству. Как правило, необходимо устанавливать многоступенчатую систему фильтрации для удаления из воздуха масла, влаги и частиц размером в микрометры. Воздух…Точка росы давленияНеобходимо поддерживать уровень влажности на крайне низком уровне, чтобы предотвратить образование конденсата внутри трубопроводов и оборудования. Бессмазочная компрессорная технология и высокоэффективные осушительные установки являются базовой конфигурацией, обеспечивающей безопасность производства интегральных схем.
Пока нет комментариев, добро пожаловать на диван ~