Требуется ли в чип‑фабрике подача сжатого воздуха по разным давлениям?

Основные классификации систем сжатого воздуха на полупроводниковом заводе

В процессе производства полупроводников сжатый воздух является незаменимым источником энергии. Системы сжатого воздуха на предприятиях по производству микросхем, как правило, делятся в зависимости от назначения и требований к качеству на…Чистый сухой воздух (CDA)ИИзмерительный воздух (IA)Две основные категории. Воздух различных категорий существенно различается по давлению, точке росы, содержанию масла и уровню контроля твёрдых частиц, что обуславливает необходимость применения стратегии раздельной подачи воздуха под разными давлениями.

Почему на полупроводниковом заводе требуется раздельное подключение газов?

• Удовлетворение разнообразных потребностей устройств:На территории чип‑завода установлено множество различного оборудования — от крупногабаритных вспомогательных установок до небольших пневматических клапанов, — и их номинальное рабочее давление значительно различается. Единая система подачи сжатого воздуха под высоким давлением может привести к повреждению низконапорного оборудования, тогда как единая система низкого давления не способна обеспечить энергетические потребности высоконапорного оборудования.
• Избегайте энергетических потерь:Если на всём предприятии используется единая система подачи сжатого воздуха под высоким давлением, то конечные низконапорные устройства вынуждены снижать давление с помощью дроссельных клапанов, что приводит к значительным потерям сжатого воздуха. При раздельной системе подачи давление можно устанавливать в соответствии с реальными потребностями сети, что существенно снижает рабочее давление компрессора и, как следствие, позволяет экономить электроэнергию.
• Обеспечение стабильности давления:Технология высокоточного производства чрезвычайно чувствительна к колебаниям давления газоснабжения. Раздельное подача газа по отдельным зонам позволяет изолировать различные участки потребления, предотвращая возникновение скачков расхода в одной из зон, которые могут вызвать колебания давления во всей системе трубопроводов предприятия, и обеспечивая стабильность давления как для приборного воздуха, так и для ключевого технологического оборудования.

Способы реализации раздельной подачи газа и проектирование газораспределительной сети

В практическом проектировании систем заводского снабжения подача газа по разным давлениям обычно осуществляется с помощью многоступенчатых редукционных станций и кольцевой распределительной сети. Высоконапорный газ, поступающий из компрессорной, сначала направляется в…Главный редукционный пункт, после понижения до среднего давления подаётся в отдельные производственные корпуса. Внутри корпусов или в непосредственной близости от определённых групп оборудования дополнительно устанавливаютсяРегиональный блок редукционных клапановИлиКонечный редукционный клапан, точно регулируя давление до заданного значения, необходимого для работы оборудования.

Кроме того, в отношении системы инструментального воздуха, которая непосредственно управляет различными регулирующими клапанами и устройствами безопасной блокировки системами коммунального хозяйства, как правило, применяется отдельная разветвлённая контурная система с избыточными редукционными клапанами и фильтрами, что обеспечивает стабильное и чистое подачу низкого давления даже в экстремальных эксплуатационных условиях.

Значение раздельной подачи газа для выхода годных изделий и себестоимости

Производство полупроводниковых чипов — типичная капитало‑ и технологоёмкая отрасль; даже незначительные колебания окружающей среды могут привести к снижению выхода годных пластин. Рациональная система распределённого подачи сжатого воздуха не только обеспечивает точное оборудование надёжным и стабильным источником энергии, уменьшая вероятность простоев оборудования или отклонений в технологическом процессе из‑за аномалий давления, но и благодаря оптимизации давления в сети существенно снижает совокупное энергопотребление системы воздушного компрессора. Поэтому распределённая подача сжатого воздуха — это не только техническая необходимость, но и ключевой шаг для полупроводниковых производств, позволяющий добиться бережливого производства и эффективного управления затратами.