
Сколько концентрации азота можно задувать пластинку
В процессе изготовления полупроводников азот используется для очистки поверхности пластин, удаления влаги, примесей и возможных загрязняющих веществ, а также предотвращения окисления пластин.
В целом, для обеспечения чистоты поверхности пластинки и предотвращения окисления рекомендуется использовать концентрацию азота не менее 99,5%.Высокочистый азот может эффективно удалять кислород и влагу из воздуха, избегая загрязнения или окисления пластин.
Разумеется, конкретные требования к концентрации азота могут варьироваться в зависимости от процесса, и в практическом применении соответствующие концентрации азота должны быть определены в соответствии с конкретными требованиями процесса и спецификациями оборудования.